| 一、用途： |
| MM-158 作為高級(jí)金相顯微鏡具有其超強(qiáng)性能，主要針對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)，電子產(chǎn)業(yè)，冶金及科研行業(yè)而開發(fā)的。本儀器采用了透射和反射兩種照明方式，在反射照明下可實(shí)現(xiàn)明暗場(chǎng)觀察及DIC微分干涉觀察，偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。采用了UIS高分辨率,長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)光路校正成像技術(shù)。光源采用非球面Kohler照明，為深色物體觀察提供了亮度保證。25mm超大的視野目鏡提供了更清晰的圖像質(zhì)量。 |
| 二、技術(shù)參數(shù) |
1.目鏡
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類別
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放大倍率
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視場(chǎng)直徑(mm)
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平場(chǎng)大視野目鏡
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WF10×
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ф25
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十字刻度目鏡
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WF10×
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ф20
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2. 物鏡：
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長(zhǎng)距離明暗場(chǎng)物鏡
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數(shù)值孔徑NA
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工作距離
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PL5X BD
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0.1
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29.4
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PL10X BD
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0.25
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16
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PL20X BD
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0.40
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10.6
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PL40X BD
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0.6
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5.4
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3. 三目鏡筒：
鉸鏈?zhǔn)剑瑑A斜30°，瞳孔距離50mm-75mm
4. 同軸粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)：
調(diào)焦范圍25mm 微動(dòng)格值2μm，單手指微調(diào)裝置
5. 雙層機(jī)械機(jī)械工作臺(tái)：
工作臺(tái)尺寸：189mmX160mm,縱向移動(dòng): 50mm 橫向移動(dòng):80mm
6. 照明光源：
落射照明：12v50w鹵素?zé)?亮度可調(diào) ，科勒照明，帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片及濾色片
透射照明：12v50w鹵素?zé)?亮度可調(diào) ，阿貝聚光鏡、內(nèi)置視場(chǎng)光欄
7. 偏光裝置：
可插入式起偏振鏡及檢偏鏡,檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可以移出光路。
8. 濾色片：
藍(lán)、綠、磨砂
9.轉(zhuǎn)換器：
四孔帶DIC插孔 |
| 三、系統(tǒng)組成 |
電腦型金相顯微鏡(MM-158C): 1、金相顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像機(jī)(CCD) 4、圖像采集軟件 5、計(jì)算機(jī)（選配)
數(shù)碼型金相顯微鏡(MM-158D): 1、金相顯微鏡 2、數(shù)碼適配鏡 3、數(shù)碼照相機(jī) |
| 四、可選附件 |
1.專業(yè)定量金相分析軟件 MA3000
2.二維測(cè)量軟件 WH300
3.試樣壓平器 YP05
4.高分辨率成像系統(tǒng)
5.明暗場(chǎng)物鏡 50倍 80倍 100倍
6.100瓦落射照明裝置
7.DIC(10X 20X 40X 100X) |
