 = 標準配置或可選
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波長范圍(nm)
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光譜分辨率
(nm)
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焦距
(mm)
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型號
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掃描
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陣列探測器
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成像
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真空
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超高真空
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光學設計
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< 1 ～ 310
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0.018
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1,000
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248/310G
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光柵入射
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< 1 ～ 90
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0.015
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1,500
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252/315
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光柵入射
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< 1 ～ 254
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0.008
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2,200
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247
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光柵入射
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< 1 ～ 240
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0.006
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3,000
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249
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光柵入射
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<1 ～ 70
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0.002
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10,600
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262
|
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光柵入射
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1 ～ 15
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0.007
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70,000
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264
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光柵入射
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10 ～ 170
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0.05
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292
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251
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平場環形
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1 ～ 20
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0.02
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5,649
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251MX
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平場環形
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50 ～ 300
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0.1
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320
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343
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環形
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注：該分辨率是用1200G/mm的光柵測量的。
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