MSCT
氮化硅探針
用于接觸式、輕敲式或力的測量,高靈敏度,彈性系數極低;
每個基片有6個懸臂,彈性系數為0.01 - 0.50 N/m,有銳化處理,
包裝數量:10根/盒
針尖參數
幾何:各向異性
針尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm
正面角(FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
側面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
針尖曲率半徑(Nom): 10nm
針尖曲率半徑(Max): 40nm
針尖縮進 (TSB)(Nom): 4µm
針尖縮進范圍 (TSB)(RNG): 0 - 7µm