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FT-MTA02是一款集微納力學測試、微納機械性能測試、微納三維操縱及組裝于一身的微機器人系統。高分辨力傳感探針配合高精度三維移動臺能直接且同時精確測得5nN~100mN范圍內的微力及1nm~26mm范圍內的微位移。帶有力傳感的微鉗能對于0~100um的物體進行拾取、移動、拉伸等操縱或組裝。得益于模塊化的設計,FT-MTA02能和許多儀器進行聯用,例如:探針臺、各類光學顯微鏡、工業產線集成等。非常適合于MEMS、材料、生物等領域的微納力學測試及操縱等研究。
微力及微位移同步測量、微米/亞微米尺度的組裝及操縱
力傳感探針/微鉗、機械臂、三維移動臺(1nm~26mm)、控制箱
5nN~100mN力學測試、0~100um開口大小
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+/-90°可旋轉鏡筒、78mm超長工作距離、3um光學分辨、4英寸樣品臺
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探針臺(力學-電學) 倒置光學顯微鏡 (液體環境) 正置光學顯微鏡
MEMS 材料力學 生物力學 微納操縱
斜率即為Stiffness[N/m],并可以進行Stiffness Mapping
人人都能通過LabVIEW進行二次開發,滿足一切個性化需求
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