在此次產(chǎn)業(yè)盛會中,惠然微電子展出了全自主正向研發(fā)的半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(CD-SEM)、缺陷檢測設(shè)備(EBI)以及場發(fā)射掃描電子顯微鏡(SEM)在內(nèi)的一系列高端產(chǎn)品。這些產(chǎn)品在半導(dǎo)體、新材料、新能源、生物醫(yī)藥、航空航天及泛工業(yè)等多個關(guān)鍵領(lǐng)域中發(fā)揮著量檢測及實(shí)驗(yàn)分析的作用,不僅標(biāo)志著國內(nèi)半導(dǎo)體量檢測設(shè)備領(lǐng)域獲得突破,也彰顯了惠然微電子在國產(chǎn)化道路上的堅(jiān)定步伐和顯著成就。

惠然微電子在攻克“卡脖子工程”技術(shù)及設(shè)備中,匯聚國際頂尖的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具備豐富的電子光學(xué)系統(tǒng)(EOS)核心的設(shè)計(jì)及制造能力,勇?lián)苿影雽?dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化、提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控度的責(zé)任,為國家的科技進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級貢獻(xiàn)一份力量。

攜手共進(jìn) 共創(chuàng)輝煌

2024年9月25日,惠然微電子隆重亮相本屆2024集成電路(無錫)創(chuàng)新發(fā)展大會,創(chuàng)始人楊仁貴先生攜半導(dǎo)體量測設(shè)備作為重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目與無錫市政府完成簽約,持續(xù)放大公司在集成電路核心技術(shù)國產(chǎn)化進(jìn)程的推動力量。

開幕式之后江蘇省工業(yè)和信息化廳黨組書記、廳長朱愛勛同志,江蘇省無錫市委副書記、市長趙建軍同志等領(lǐng)導(dǎo)一行蒞臨惠然微電子展臺,受到了公司的熱情接待。朱廳長、趙市長等領(lǐng)導(dǎo)詳細(xì)了解了惠然微電子最新的技術(shù)成果與設(shè)備,對其展現(xiàn)出的以正向研發(fā)為核心驅(qū)動力的掃描電鏡和半導(dǎo)體電子束量測設(shè)備技術(shù)給予了高度評價?；萑晃㈦娮討{借其在該領(lǐng)域的卓越持續(xù)創(chuàng)新能力和深厚的技術(shù)儲備,不僅成功實(shí)現(xiàn)了從0到1的技術(shù)突破并順利轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品,更在此基礎(chǔ)上積累了豐富的從1到N的商業(yè)化轉(zhuǎn)化經(jīng)驗(yàn),將技術(shù)成果有效轉(zhuǎn)化為市場價值,這一顯著成就贏得了領(lǐng)導(dǎo)們的廣泛贊賞。

核心展示,誠摯分享

CD-SEM關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備:細(xì)微之處見真章

惠然微電子研發(fā)的“賦”系列CD-SEM設(shè)備,利用先進(jìn)的電子束掃描成像技術(shù),對光刻膠線條寬度進(jìn)行關(guān)鍵尺寸的在線量測,并于設(shè)計(jì)尺寸實(shí)時比對避免偏離,實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵工藝參數(shù)的監(jiān)控,是提高芯片制造良率、維持產(chǎn)品質(zhì)量一致性的關(guān)鍵設(shè)備。其中6/8 inch CD-SEM可兼容 6/8 寸晶圓,適用于第三代半導(dǎo)體芯片的量測。

EBI電子束檢測設(shè)備:高效助力,質(zhì)量為先

惠然微電子“比”系列EBI設(shè)備,通過高效的電子束掃描顯微成像技術(shù)和智能算法,能夠快速準(zhǔn)確地檢測出晶圓上的電性缺陷和物理缺陷,是提升芯片制造良率的關(guān)鍵設(shè)備。其中,eIB 3001適合高分辨率檢測,而eIB 3101則更適合高速檢測需求。

SEM系列掃描電鏡:多元應(yīng)用,精準(zhǔn)洞察

惠然微電子SEM系列掃描電鏡,如FE-SEM“風(fēng)”系列F4000、F6000,不僅覆蓋從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)生產(chǎn)的多種需求,還提供高分辨率的圖像與數(shù)據(jù),幫助用戶深入了解材料特性與制造工藝。此外,惠然微電子在SEM領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),產(chǎn)品系列豐富,成功發(fā)布了國內(nèi)首臺拉曼聯(lián)用電鏡一體機(jī),并通過自研技術(shù)創(chuàng)新在備受全球關(guān)注的新能源領(lǐng)域材料研究與迭代方面具備全方位解決方案。

展會期間,惠然微電子的精英技術(shù)團(tuán)隊(duì)將親臨現(xiàn)場,為參觀者就公司產(chǎn)品特性、技術(shù)細(xì)節(jié)及行業(yè)應(yīng)用前景進(jìn)行深入解讀與分享。這支匯聚了國際頂尖專家的隊(duì)伍,精通電子光學(xué)、電控、系統(tǒng)和算法等多個關(guān)鍵領(lǐng)域,憑借超過二十年的尖端研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和豐富的商業(yè)化實(shí)踐,正不斷推動技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級。黨的二十屆三中全會指出:要健全強(qiáng)化集成電路等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的體制機(jī)制,全鏈條推進(jìn)技術(shù)攻關(guān)成果應(yīng)用?；萑晃㈦娮訉⑸钊胴瀼厝珪?同時我們也堅(jiān)信,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的突飛猛進(jìn)和不懈創(chuàng)新將不斷加速國產(chǎn)化替代的進(jìn)程。公司也將持續(xù)推進(jìn)電子光學(xué)核心技術(shù)的革新,堅(jiān)守“技術(shù)領(lǐng)先、服務(wù)至上、提升良率、為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供卓越支持”的使命,與國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略發(fā)展同步前行。

隨著展會的深入,現(xiàn)場將舉辦技術(shù)研討會并提供一對一交流環(huán)節(jié),歡迎各界人士就技術(shù)挑戰(zhàn)、市場動態(tài)等關(guān)鍵議題進(jìn)行深入對話和探討,共同挖掘半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)潛力,探索未來無限可能。