泵浦組件

 

本系列為多段羅茨干式真空泵浦，泵浦內(nèi)部是由一對多段式轉(zhuǎn)子組成的，逐級壓縮被 抽氣體，從而提高能源的有效利用率，減少損耗；同時因轉(zhuǎn)子為三葉轉(zhuǎn)子使之旋轉(zhuǎn)一周實現(xiàn)三次排氣，從而提高了排氣的穩(wěn)定性，降低排氣噪音。

轉(zhuǎn)子由一對齒輪帶動同步運轉(zhuǎn)；齒輪、軸承以氟化油作為潤滑劑，并通過唇形密封與 腔體分隔在一個單獨的區(qū)域，故能使腔體保持在無油的工作狀態(tài)。

冷卻水

 

由于真空泵浦內(nèi)壓縮氣體從真空狀態(tài)到大氣壓力會產(chǎn)生熱量，因此需要冷卻水來保持馬達與泵體在安全的工作范圍之內(nèi)。冷卻水接頭使用易于安裝與拆卸的快速接頭， 以方便現(xiàn)場人員的安裝調(diào)試與檢修。

排氣端

 

在排氣端安裝有逆止閥，防止泵浦停止運轉(zhuǎn)后排出的氣體回流到真空腔體內(nèi)。

控制系統(tǒng)

 

本系列干式真空泵浦裝配有漏電斷電開關（ELB）、馬達啟動控制回路。為了增強泵浦運轉(zhuǎn)過程中的可靠與安全性，泵浦重要部位的溫度都由感應器監(jiān)控，并通過控 制面板對泵浦的實際運轉(zhuǎn)狀況實現(xiàn)實時顯示，其中包括電力供應、冷卻水流量、馬達 線圈溫度與馬達電流值以及在運轉(zhuǎn)過程中出現(xiàn)的異常狀況的警告！

 

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