Advanced Materials Analysis Instrument
CMI900/950系列X射線熒光測(cè)厚儀能夠測(cè)量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品;并且測(cè)量點(diǎn)最小可達(dá)0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開(kāi)槽式樣品室,以方便對(duì)大面積線路板樣品的測(cè)量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺(tái)供用戶(hù)選用,分別為:
- 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
- 擴(kuò)展型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
- 可調(diào)高度型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
- 程控樣品臺(tái):XYZ軸自動(dòng)控制。
- 超寬程控樣品臺(tái):XYZ軸自動(dòng)控制。
CMI950系列采用開(kāi)閉式樣品室,以方便測(cè)定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣,CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺(tái)供用戶(hù)選用,分別為:
- 全程控樣品臺(tái):XYZ三軸程序控制樣品臺(tái),可接納的樣品最大高度為150mm,XY軸程控移動(dòng)范圍為300mmx 300mm。此樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn)測(cè)定點(diǎn)自動(dòng)編程控制。
- Z軸程控樣品臺(tái):XY軸手動(dòng)控制,Z軸自動(dòng)控制,可接納的樣品最大高度為270mm。
- 全手動(dòng)樣品臺(tái):XYZ三軸手動(dòng)控制,可接納的樣品最大高度為356mm。
- 可擴(kuò)展式樣品臺(tái)用于接納超大尺寸樣品。
CMI900/950主要技術(shù)規(guī)格如下:
No. |
主要規(guī)格 |
規(guī)格描述 |
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1 |
X射線激發(fā)系統(tǒng) |
垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng) |
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空冷式微聚焦型X射線管,Be窗 |
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標(biāo)準(zhǔn)靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等 |
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功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)-標(biāo)準(zhǔn) 75W(4-50kV,0-1.5mA)-任選 X射線管功率可編程控制 |
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裝備有安全防射線光閘 |
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2 |
濾光片程控交換系統(tǒng) |
根據(jù)靶材,標(biāo)準(zhǔn)裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng) |
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二次X射線濾光片:3個(gè)位置程控交換,Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選 |
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位置傳感器保護(hù)裝置,防止樣品碰創(chuàng)探測(cè)器窗口 |
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3 |
準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) |
最多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器,程序交換控制 |
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多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選: -圓形,如4、6、8、12、20 mil等 -矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 |
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4 |
測(cè)量斑點(diǎn)尺寸 |
在12.7mm聚焦距離時(shí),最小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器) |
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在12.7mm聚焦距離時(shí),最大測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準(zhǔn)直器) |
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5 |
X射線探測(cè)系統(tǒng) |
封氣正比計(jì)數(shù)器 |
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裝備有峰漂移自動(dòng)校正功能的高速信號(hào)處理電路 |
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6 |
樣品室 |
CMI900 |
CMI950 |
-樣品室結(jié)構(gòu) |
開(kāi)槽式樣品室 |
開(kāi)閉式樣品室 |
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-最大樣品臺(tái)尺寸 |
610mmx 610mm |
300mmx 300mm |
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-XY軸程控移動(dòng)范圍 |
標(biāo)準(zhǔn):152.4 x 177.8mm 任選:50.8mmx 152.4mm 50.4mm x 177.8mm 101.6 x 177.8mm 177.8 x 177.8mm 610mm x 610mm |
300mmx 300mm |
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-Z軸程控移動(dòng)高度 |
43.18mm |
XYZ程控時(shí),152.4mm XY軸手動(dòng)時(shí),269.2mm |
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-XYZ三軸控制方式 |
多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制、XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動(dòng)控制 |
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-樣品觀察系統(tǒng) |
高分辨、彩色、實(shí)時(shí)CCD觀察系統(tǒng),標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。 |
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激光輔助光自動(dòng)對(duì)焦功能 |
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可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
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7 |
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置 |
IBM計(jì)算機(jī):2.8G奔騰IV處理器,256M內(nèi)存,1.44M軟驅(qū),40G硬盤(pán),CD-ROM,鼠標(biāo),鍵盤(pán),15寸液晶,56K調(diào)制解調(diào)器。惠普或愛(ài)普生彩色噴墨打印機(jī)。 |
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8 |
分析應(yīng)用軟件 |
操作系統(tǒng):Windows2000中文平臺(tái) 中文分析軟件包:Smart |
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-測(cè)厚范圍 |
可測(cè)定厚度范圍:取決于您的具體應(yīng)用。請(qǐng)告訴牛津儀器您的具體應(yīng)用,我們將列表可測(cè)定的厚度范圍 |
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-基本分析功能 |
無(wú)標(biāo)樣檢量線測(cè)厚,可采用一點(diǎn)或多點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)樣品自動(dòng)進(jìn)行基本參數(shù)方法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標(biāo)準(zhǔn)樣品。 |
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樣品種類(lèi):鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量) |
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可檢測(cè)元素范圍:Ti22 – U92 |
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可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素/共存元素校正 |
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組成分析時(shí),可同時(shí)測(cè)定15種元素 |
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多達(dá)4個(gè)樣品的光譜同時(shí)顯示和比較 |
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元素光譜定性分析 |
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-調(diào)整和校正功能 |
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整和校正功能:校正X射線管、探測(cè)器和電子線路的變化對(duì)分析結(jié)果的影響,自動(dòng)消除系統(tǒng)漂移 |
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譜峰計(jì)數(shù)時(shí),峰漂移自動(dòng)校正功能 |
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譜峰死時(shí)間自動(dòng)校正功能 |
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譜峰脈沖堆積自動(dòng)剔除功能 |
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標(biāo)準(zhǔn)樣品和實(shí)測(cè)樣品間,密度校正功能 |
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譜峰重疊剝離和峰形擬合計(jì)算 |
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-測(cè)量自動(dòng)化功能 (要求XY程控機(jī)構(gòu)) |
鼠標(biāo)激活測(cè)量模式:“Point and Shoot” |
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多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量模式:隨機(jī)模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復(fù)測(cè)量模式 |
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測(cè)量位置預(yù)覽功能 |
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激光對(duì)焦和自動(dòng)對(duì)焦功能 |
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-樣品臺(tái)程控功能 (要求XY程控機(jī)構(gòu)) |
設(shè)定測(cè)量點(diǎn) |
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One or Two Datumn (reference) Points on each file |
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測(cè)量位置預(yù)覽(圖表顯示) |
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-統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能 |
平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值、數(shù)據(jù)變動(dòng)范圍、數(shù)據(jù)編號(hào)、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖 |
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數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表 |
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直方圖 |
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數(shù)據(jù)庫(kù)存儲(chǔ)功能 |
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-系統(tǒng)安全監(jiān)測(cè)功能 |
Z軸保護(hù)傳感器 |
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樣品室門(mén)開(kāi)閉傳感器 |
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操作系統(tǒng)多級(jí)密碼操作系統(tǒng):操作員、分析員、工程師 |
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-任選軟件 |
統(tǒng)計(jì)報(bào)告編輯器允許用戶(hù)自定義多媒體報(bào)告書(shū) |
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液體樣品分析,如鍍液中的金屬元素含量 |
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材料鑒別和分類(lèi)檢測(cè) |
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材料和合金元素分析 |
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貴金屬檢測(cè),如Au karat評(píng)價(jià) |