>> 產(chǎn)品特點(diǎn)
WB300采用專利高密度微波等離子技術(shù),用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理,微波等離子高度活性、高效,且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。
微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式:
網(wǎng)址dajinying禁發(fā)網(wǎng)址/UploadFiles/201216201530183.jpg)
- 等離子體表面改性
- 有機(jī)物表面等離子體清潔
- 邦定強(qiáng)度增強(qiáng)
- 等離子體刻蝕應(yīng)用
- 等離子體灰化應(yīng)用
- 增強(qiáng)或減弱浸潤(rùn)性
- 其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用