1450(W)×1100(D)×1850(H)mm
600(W)×840(D)×800(H)mm
530(W)×700(D)mm ,15層 ◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó)MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-5000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作
觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
日本愛(ài)發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S) (前級(jí)泵可選配愛(ài)德華干泵)
英國(guó)愛(ài)德華羅茨泵 EH500(140L/S)
臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英??蹈呔日婵沼?jì)、傳感器
美國(guó)AE高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(兩路氣體配制)、針閥
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件,德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件