ULVAC 愛發科修理干式真空泵
DSB-151 DSB-251 DSB-451 DSB-601
DVS-321 DISL-500
三. ULVAC 愛發科羅茨泵修理
PRC003A PRC006A PRC012A PMB001C PMB003C PMB006C PMB012C PMB024C PMB040B PMB060B NB100A NB300A NB600A NB1200A
羅茨泵與油旋片真空泵、水環泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
用途
照明、電子、光學、半導體分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備，真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入用途
照明、電子、光學、半導體分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備，真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐