一、            性能參數指標介紹：

1．工作條件：

電源：220V，1500W

環境溫度：10℃～35℃

環境濕度： 10%～85%

2．儀器尺寸：172cm H x 77cm D x 81cm W

3．最大樣品尺寸：H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm

4．最大樣品重量：50kg

5．垂直分辨率：<0.15nm；（可測量出亞納米級的表面結構）。

6．RMS重復性：0.03nm；（在測量超光滑平面的時候，多次測量的重復性非常好）。

7．臺階高度測量的精度：0.5%；（對高度測量的精確度可控制在0.5%以內）。

8．臺階高度測量的重復性：<0.12% 1σ；（對高度測量的重復性可控制在0.12%以內）。

9．光學分辨率：0.49um；（在使用50倍物鏡的情況下，可分辨的最小尺寸為0.49um）。

10．            最大掃描速度：28.1um/s；（縱向掃描的速度可達28.1um/s）。

11．            垂直方向最大掃描范圍：10mm，全量程閉環控制，無需縫合。（縱向最大的掃描長度為10mm，并且此測量為閉環控制測量，保證了測量的準確性）。

二、            購置此儀器的必要性：

由于航空鑄造零件上，具有很多過渡曲面，采用探針式測量方法有很多的局限性。一是某些區域探針很難進入里面進行測量；二是探針式測量方法的精度達不到測量的要求。而采用白光干涉的測量方法只要光能入射并反射回來就可進行測量，不管是對曲面還是直面均可進行快速、高精度、高重復性測量。下面是NPFLEX儀器對各種零件測量的圖片。